Árið 2020 voru meira en trilljón flís framleidd um allan heim, sem jafngildir 130 flísum í eigu og notkun hvers manns á jörðinni.Samt sem áður heldur nýlegur flísaskortur áfram að sýna að þessi tala hefur ekki enn náð efri mörkum.
Þótt nú þegar sé hægt að framleiða franskar í svo stórum stíl er það ekki auðvelt verkefni að framleiða þær.Ferlið við að framleiða flís er flókið og í dag munum við fjalla um sex mikilvægustu skrefin: útfellingu, ljósþolshúð, steinþrykk, ætingu, jónaígræðslu og pökkun.
Afgreiðsla
Útfellingarskrefið byrjar með oblátunni, sem er skorið úr 99,99% hreinum kísilhólk (einnig kallaður „kísilhleifur“) og slípaður til einstaklega slétts áferðar, og síðan er þunn filma af leiðara, einangrunarefni eða hálfleiðaraefni sett út. á diskinn, allt eftir kröfum um uppbyggingu, þannig að hægt sé að prenta fyrsta lagið á það.Þetta mikilvæga skref er oft nefnt „útfelling“.
Eftir því sem flögur verða minni og minni verða prentmynstur á oblátum flóknari.Framfarir í útfellingu, ætingu og steinþrykk eru lykillinn að því að gera flísar sífellt minni og knýja þannig áfram á lögmáli Moore.Þetta felur í sér nýstárlegar aðferðir sem nota ný efni til að gera útfellingarferlið nákvæmara.
Photoresist húðun
Wafers eru síðan húðaðar með ljósnæmu efni sem kallast „photoresist“ (einnig kallað „photoresist“).Það eru tvær tegundir af ljósviðnámum - „jákvæðar ljósviðnámar“ og „neikvæðar ljósþolnar“.
Helsti munurinn á jákvæðum og neikvæðum ljósþolnum er efnafræðileg uppbygging efnisins og hvernig ljósþolinn bregst við ljósi.Þegar um er að ræða jákvæða ljósviðnám breytir svæðið sem verður fyrir útfjólubláu ljósi uppbyggingu og verður leysanlegra og undirbýr það þannig fyrir ætingu og útfellingu.Neikvæð ljósviðnám fjölliðar hins vegar á þeim svæðum sem verða fyrir ljósi, sem gerir það erfiðara að leysa þau upp.Jákvæðir ljósþolnar eru mest notaðir í hálfleiðaraframleiðslu vegna þess að þeir geta náð hærri upplausn, sem gerir þá að betri vali fyrir steinþrykkið.Það eru nú nokkur fyrirtæki um allan heim sem framleiða ljósþol fyrir hálfleiðaraframleiðslu.
Ljósmyndafræði
Ljósmyndafræði skiptir sköpum í flísaframleiðsluferlinu vegna þess að hún ákvarðar hversu litlir smáriarnir á flísinni geta verið.Á þessu stigi eru skífurnar settar í ljóslitavél og verða fyrir djúpu útfjólubláu ljósi.Margir sinnum eru þeir þúsund sinnum minni en sandkorn.
Ljósi er varpað á skífuna í gegnum „grímuplötu“ og lithography ljósfræðin (linsa DUV kerfisins) minnkar og einbeitir hönnuðu hringrásarmynstri á grímuplötunni á ljósþolið á skífunni.Eins og áður hefur verið lýst, þegar ljósið lendir á photoresist, verður efnafræðileg breyting sem prentar mynstrið á grímuplötuna á photoresist húðina.
Það er flókið verkefni að fá útsett mynstur nákvæmlega rétt, þar sem truflun agna, ljósbrot og aðrir eðlisfræðilegir eða efnafræðilegir gallar eru allir mögulegir í ferlinu.Þess vegna þurfum við stundum að fínstilla endanlegt lýsingarmynstrið með því að leiðrétta sérstaklega mynstur á grímunni til að láta prentaða mynstrið líta út eins og við viljum hafa það.Kerfið okkar notar „tölvunarlithography“ til að sameina reikniritlíkön með gögnum frá steinþrykkjavélinni og prófunarplötum til að framleiða grímuhönnun sem er gjörólík endanlegu lýsingarmynstri, en það er það sem við viljum ná vegna þess að það er eina leiðin til að fá æskilegt útsetningarmynstur.
Æsing
Næsta skref er að fjarlægja niðurbrotna ljósþolið til að sýna æskilegt mynstur.Meðan á „ætu“ ferlinu stendur er oblátið bakað og framkallað, og hluti af photoresist er skolað af til að sýna opið rás 3D mynstur.Ætsferlið verður að mynda leiðandi eiginleika nákvæmlega og stöðugt án þess að skerða heildarheilleika og stöðugleika flísbyggingarinnar.Háþróuð ætingartækni gerir flísaframleiðendum kleift að nota tvöfalt, fjórfalt og spacer-undirstaða mynstur til að búa til örsmáar stærðir nútíma flísahönnunar.
Eins og photoresists er æting skipt í „þurr“ og „blaut“ gerðir.Þurræting notar gas til að skilgreina óvarið mynstur á oblátunni.Blautæting notar efnafræðilegar aðferðir til að þrífa oblátið.
Flís hefur tugi laga, þannig að ætingu verður að vera vandlega stjórnað til að forðast að skemma undirliggjandi lög fjöllaga flísbyggingar.Ef tilgangur ætingar er að búa til holrúm í burðarvirkinu er nauðsynlegt að tryggja að dýpt holrúmsins sé nákvæmlega rétt.Sumar flísahönnun með allt að 175 lögum, eins og 3D NAND, gera ætingarskrefið sérstaklega mikilvægt og erfitt.
Jónasprautun
Þegar mynstrið hefur verið ætið á oblátuna er skotið á diskinn með jákvæðum eða neikvæðum jónum til að stilla leiðandi eiginleika hluta mynstrsins.Sem efni fyrir oblátur er hráefnið sílikon hvorki fullkominn einangrunarefni né fullkominn leiðari.Leiðandi eiginleikar kísils falla einhvers staðar þar á milli.
Að beina hlaðnum jónum inn í kísilkristallinn þannig að hægt sé að stjórna raforkuflæðinu til að búa til rafræna rofa sem eru grunnbyggingareiningar flögunnar, smára, er kallað „jónun“, einnig þekkt sem „jónaígræðsla“.Eftir að lagið hefur verið jónað er ljósþolið sem eftir er sem notað er til að vernda óæta svæðið fjarlægt.
Umbúðir
Þúsundir skrefa þarf til að búa til flís á oblátu og það tekur meira en þrjá mánuði að fara frá hönnun til framleiðslu.Til að fjarlægja flísina af oblátunni er hún skorin í einstaka flís með demantssög.Þessar flísar, sem kallast „bare die“, eru skiptar úr 12 tommu flís, sem er algengasta stærðin sem notuð er í hálfleiðaraframleiðslu, og vegna þess að stærð flísanna er mismunandi geta sumar flísar innihaldið þúsundir flísa á meðan aðrar innihalda aðeins nokkrar tugi.
Þessar beru skífur eru síðan settar á „undirlag“ - undirlag sem notar málmfilmu til að beina inntaks- og úttaksmerkjum frá beru oblátunni til restarinnar af kerfinu.Það er síðan þakið „hitavaski“, litlu, flatu hlífðaríláti úr málmi sem inniheldur kælivökva til að tryggja að flísinn haldist kaldur meðan á notkun stendur.
Fyrirtækissnið
Zhejiang NeoDen Technology Co., Ltd. hefur framleitt og flutt út ýmsar litlar vélar til að velja og setja síðan 2010. Með því að nýta eigin ríka reynslu okkar R&D, vel þjálfaða framleiðslu, vinnur NeoDen gott orðspor frá viðskiptavinum um allan heim.
með alþjóðlegri viðveru í yfir 130 löndum, framúrskarandi frammistöðu, mikla nákvæmni og áreiðanleika NeoDenPNP vélargera þá fullkomna fyrir rannsóknir og þróun, faglega frumgerð og litla til meðalstóra lotuframleiðslu.Við bjóðum upp á faglega lausn á einum stöðva SMT búnaði.
Bæta við: No.18, Tianzihu Avenue, Tianzihu Town, Anji County, Huzhou City, Zhejiang Province, Kína
Sími: 86-571-26266266
Birtingartími: 24. apríl 2022